Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии

,
Начать читать книгу
Скачать бесплатно отрывок книги для чтения (будет легально скачан большой фрагмент книги, вы сможете понять, нравится ли она вам, и если да, то легально купить).
Читать онлайн
0.0

О книге

В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно-металлизационной системы, планаризация, а также получение диэлектрических пленок.
Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 – Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 – Конструирование и технология электронных средств, 11.04.04 – Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии».

Купить книгу «Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и ...»

электронная ЛитРес 125 ₽
Рейтинги этой книги за всё время
Учебники и пособия 2161
Учебники и пособия для вузов 1482
Среди всех книг 45676