Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии
Игорь Леонидович Житяев, Александр Михайлович СветличныйНачать читать книгу
Скачать бесплатно отрывок книги для чтения (будет легально скачан большой фрагмент книги, вы сможете понять, нравится ли она вам, и если да, то легально купить).
Читать онлайн
0.0
О книге
В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно-металлизационной системы, планаризация, а также получение диэлектрических пленок.
Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 – Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 – Конструирование и технология электронных средств, 11.04.04 – Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии».
Купить книгу «Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и ...»
Рейтинги этой книги | за всё время |
Учебники и пособия | №2391 |
Учебники и пособия для вузов | №1324 |
Среди всех книг | №45676 |